更新時(shí)間：2024-11-20
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超高分辨率 掃描儀 臺(tái)式掃描電鏡EM-30
打破了傳統(tǒng)臺(tái)式掃描電鏡采用BSD探測(cè)器成像的局限性， 利用創(chuàng)新的雙聚光鏡成像技術(shù)，采用大型掃描電鏡成像原理，使用二次電子探測(cè)器作為基礎(chǔ)成像單元，從而可以獲得更高的分辨率（<5nm），是真正意義上的高分辨率臺(tái)式掃描電鏡。
特點(diǎn)：
◆ 使用方便、體積小巧、對(duì)環(huán)境要求低；
◆ 分辨率高， 大樣品倉(cāng)；
◆ 自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)；
◆ 加速電壓范圍廣；
◆ 可選配附件多：EDS、冷臺(tái)；
超高分辨率 掃描儀 臺(tái)式掃描電鏡EM-30
技術(shù)參數(shù)：
分辨率 | 5nm@30kV SE |
放大倍數(shù) | x15~x150,000 |
加速電壓 | 1kV-30kV (1kV步進(jìn)) |
電子槍 | 發(fā)叉式鎢絲陰極 |
探測(cè)器 | 標(biāo)配SE， 可選配EDS |
樣品臺(tái) | X:35mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng))，Y:35mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng))，T:0~45°(馬達(dá)驅(qū)動(dòng))， R:360°(電子束旋轉(zhuǎn))，Z :5 ~ 50mm |
樣品座 | 通用7個(gè)樣品樁的樣品臺(tái)； 通用30mm的樣品臺(tái)； 通用傾斜樣品臺(tái)； 通用截面臺(tái) |
試樣尺寸 | 45mm(高),60mm(直徑) |
圖像模式 （像素） | Focus(160x120 ) ；RED (320 x 240 )； TV(640 x 480 ) ；Slow(800 x 600 )； Photo(1280 x 960 ，2560 x 1920 , 5120 x 3840 ) |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵、渦輪分子泵(小于3分鐘) |
軟件界面 | 全新的Nano Station 4.0TM |
自動(dòng)功能 | 聚焦、燈絲、亮度、對(duì)比度 |
特殊功能 | 導(dǎo)航模式； 駕駛模式(通過(guò)控制桿操作)； SE像； 線(xiàn)輪廓 |
外形尺寸 | 400(寬)×600(長(zhǎng))×550(高) |
操作系統(tǒng) | Windows 10 |
操作 | 控制桿， 鼠標(biāo)， 鍵盤(pán) |
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