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輪廓儀技術(shù)規(guī)格

  • 發(fā)布日期:2020-05-18      瀏覽次數(shù):2372
    •  技術(shù)規(guī)格

      技術(shù)參數(shù)

      線性精度1

      ±(1.5+|0.2H|)μm

      圓弧2

      ±(2+R/8)μm

      角度3

      ±2′

      直線度4

      0.8μm/100mm

      運(yùn)動(dòng)控制

      X軸驅(qū)動(dòng)方式

      電動(dòng)

      Z軸驅(qū)動(dòng)方式

      電動(dòng)

      X軸驅(qū)動(dòng)速度

      0.1~10mm/s

      Z軸驅(qū)動(dòng)速度

      0.5-10mm/s

       

      注:1、H為水平位置上的測(cè)量高度;2、2mm<R<10mm的標(biāo)準(zhǔn)球,取樣圓弧夾角為120°;3、60°、90°的角度塊,角邊取樣長度為5mm;4、λc為2.5mm,測(cè)量速度為0.3mm/s;5、2mm<R<10mm的標(biāo)準(zhǔn)球,取樣圓弧夾角為120°6、以上參數(shù)均在20℃±5℃,階梯溫度不超過2℃/h的環(huán)境下測(cè)得;7、地面震動(dòng)大RMS  

      50HZ  2.5μm/s />50HZ  5.0μm/s。 

    浙公網(wǎng)安備 33020602000785號(hào)

    化工儀器網(wǎng)

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